2025年7月，正值御微半導體Halo-100產品上市一周年之際，公司已累計發運多家掩模制造廠（MaskShop）、并于今日正式向掩模基板廠（Blank Fab）發運專用版本。該版本的發運，標志著Halo-100成功從掩模制造領域延伸至上游基板生產環節，推動御微“掩模全生命周期質量控制”戰略實現關鍵跨越。憑借御微公司自主研發的核心技術，   Halo-100現已成為掩模產業鏈中制造端與基板端質量管控的標尺。

御微半導體Halo-100掩模基板缺陷檢測產品

領航掩模檢測新高度，Halo-100匠心鑄就

Halo-100設備基于御微半導體多年深耕掩模檢測領域的技術積淀，通過高精度缺陷檢測與高精密光學系統，為掩模檢測行業提供多重價值：

- 掩模制造端：在曝光前對掩模基板進行入場檢測，攔截大顆粒污染物，避免曝光機腔體污染及后續工序良率損失；同時作為設備內部潔凈度監測的“標尺”，定期檢測重點生產設備內部腔體的潔凈狀態。

- 基板生產端：覆蓋玻璃基板來料檢驗、多層鍍膜過程監控及成品出貨檢測全鏈條，確保每個制程節點的潔凈度達標。

- 零污染生產：集成自動開盒/倒板模塊，最大限度減少人工干預，實現全程封閉式管控。

御微聚力全賦能，共筑產鏈新價值

Halo-100的推出，與御微半導體已有的i6R、Raptor等產品形成協同效應，構建覆蓋掩模制造、使用、維護全生命周期的零缺陷質量管控閉環。該體系不僅幫助客戶降低潛在污染的損失，更推動半導體制造鏈條的精細化升級。

御微將持續加大研發投入、深入剖析客戶痛點和需求、不斷開發出滿足客戶要求的新產品，夯實掩模版全生命周期質量管控產品線，填補國內相關半導體設備領域的空白，為廣大客戶創造更高更大的價值。

御微使命，奮發前行

上海御微半導體技術有限公司聚焦半導體檢測與量測設備研發，致力于為晶圓制造、掩模版制造及封裝領域提供全制程領域量檢測解決方案。公司已獲多項國家級專精特新企業認證，產品覆蓋國內主流半導體廠商，設備累計出貨量超百臺。